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龙图腾网恭喜北京科技大学申请的专利一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119820477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510331254.X，技术领域涉及：B24B41/04；该发明授权一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴是由谢贵久;王津;宋振;侯润杰;马健设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴在说明书摘要公布了：本发明公开了一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴，包括水冷电机、气浮轴承、水气开关，其在进水管内流入液体时，允许触动第一微动开关，第一微动开关控制进气管的气动隔膜阀的打开。本发明通过上述水气开关可调节进水管和进气管的工作顺序，从而避免在进水管并未进水的时候，水冷电机的电机转子进行旋转，从而保证石墨烯青铜复合巨量微孔材料制成的止推轴承垫在工作时必然形成气膜，进而保证其工作寿命和晶圆减薄的工艺质量。

本发明授权一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴在权利要求书中公布了：1.一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴，其特征在于，包括 水冷电机，其电机冷却套（120）和定子外轴套（130）形成的水仓（121）的一端与进水管（310）连通，另一端与出水管（320）连通； 气浮轴承，包括止推轴承座（140）和止推轴承垫（150），所述止推轴承座（140）和止推轴承垫（150）与水冷电机的支撑轴（230）之间形成气路（141），所述气路的一端与进气管（410）连通，气路（141）的另一端与出气管（420）连通； 水气开关（500），其在进水管（310）内流入液体时，允许触动第一微动开关（513），第一微动开关（513）控制进气管（410）的气动隔膜阀（311）的打开；并且，所述水气开关（500）在进水管（310）不流入液体时，不允许触动第一微动开关（513），并触动第二微动开关（514），第二微动开关（514）控制进气管（410）的气动隔膜阀（311）和水冷电机的电机转子（210）的关闭； 所述水气开关（500）包括第一导轨（510）、第一摆杆（520）、第二摆杆（521）、第一滑块（511）、第一触点（512）、第一微动开关（513）、第二微动开关（514）、第二滑块（530）、单向阀（600）；第一导轨（510）与进水管（310）固定，所述第一导轨（510）铰接有第一摆杆（520），所述第一摆杆（520）与第二摆杆（521）铰链连接，所述第二摆杆（521）开设有腰圆孔（522），所述腰圆孔（522）内设有沿其移动的卡销（523），所述卡销（523）与第一滑块（511）固定，所述第一滑块（511）沿第一摆杆（520）移动，第一滑块（511）与第一触点（512）固定，所述第一触点能够与第一微动开关（513）或第二微动开关（514）搭接； 所述第一摆杆（520）和第一滑块（511）均能够与所述第二滑块（530）限位搭接，当所述第二滑块（530）与第一摆杆（520）限位搭接时，第一摆杆（520）无法摆动；当所述第二滑块（530）与第一滑块（511）限位搭接时，所述第一滑块（511）的第一触点（512）只与第二微动开关（514）限位搭接； 其中，所述进水管（310）的单向阀（600）的密封球（620）由磁铁制成，所述第二滑块（530）由铁制成，所述密封球（620）能够在有水流时，将所述第二滑块（530）吸引至不与第一摆杆（520）和第一滑块（511）限位搭接的位置；所述密封球（620）能够在没有水流时，将所述第二滑块（530）吸引至与第一摆杆（520）和第一滑块（511）限位搭接的位置； 其中，所述第一微动开关（513）与进气管（410）的气动隔膜阀（311）通信连接，当所述第一触点（512）与第一微动开关（513）搭接时，所述气动隔膜阀（311）打开；所述第二微动开关（514）与进气管（410）的气动隔膜阀（311）和水冷电机的控制模块通信连接，当所述第一触点（512）与第二微动开关（514）搭接时，所述气动隔膜阀关闭，并且水冷电机的电机转子（210）关闭。

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