恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司严大获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种导片方法和导片系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119852224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510320937.5,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种导片方法和导片系统是由严大;汤宋波设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导片方法和导片系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种导片方法和导片系统,所述导片方法包括第一工作状态和第二工作状态,其中第一工作状态包括:将承载单元中合片状态的片材进行拆分,并将多余片材存储于缓存机构内,使承载单元与缓存机构共同构成一个存取单元;将存取单元内的全部片材转移至第二容器;第二工作状态包括:将空载的承载单元与空载的缓存机构构成一个存取单元;将第二容器内的片材转移至存取单元内;将存取单元内的片材进行合并,使缓存机构内的片材与承载单元内的片材合片放置;缓存机构设置有多个,多个缓存机构的工作状态对应错开。通过上述方式,本申请能够提高导片效率,满足高产能需求。
本发明授权一种导片方法和导片系统在权利要求书中公布了:1.一种导片方法,使用搬运机构在第一容器与第二容器之间转移片材,其特征在于,所述第一容器具有多个承载单元,每个所述承载单元中装载有多个所述片材,所述第一容器配置有缓存机构,所述缓存机构用于对单个所述承载单元中的所述片材进行拆分或合并,所述导片方法包括: 第一工作状态: 将所述承载单元中合片状态的片材进行拆分,并将多余片材存储于缓存机构内,使所述承载单元与所述缓存机构共同构成一个存取单元; 将所述存取单元内的片材转移至所述第二容器; 第二工作状态: 将空载的所述承载单元与空载的所述缓存机构构成一个存取单元; 将所述第二容器内的所述片材转移至所述存取单元内; 将所述存取单元内的所述片材进行合并,使所述缓存机构内的所述片材与所述承载单元内的所述片材合片放置; 所述缓存机构设置有多个,多个所述缓存机构的工作状态对应错开。
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