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龙图腾网恭喜苏州诺富微电子有限公司申请的专利一种砷化镓晶圆水平法切割装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114310509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111657798.3，技术领域涉及：B24B5/04；该发明授权一种砷化镓晶圆水平法切割装置是由袁永设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种砷化镓晶圆水平法切割装置在说明书摘要公布了：本发明公开了砷化镓生产加工技术领域的一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台与驱动电机，所述工作台表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽，所述凹槽的底部为弧形，所述凹槽的底部滑动连接有驱动推杆；本发明在工作前，通过砷化镓晶柱厚度的不同来间接调节打磨辊右端的位置，从而来调节打磨辊所能打磨的最大圆直径，有利于根据砷化镓晶柱厚度的不同来确定打磨的最大圆柱的晶柱，从而减少多余的打磨，避免浪费；连接球与其上的十字环形槽可以满足打磨辊与转动齿轮转动轴之间的角度调节，有利于在打磨辊的右端进行抬起时，转动齿轮依然能对打磨辊提供稳定的驱动力，避免卡死或驱动力不稳定。

本发明授权一种砷化镓晶圆水平法切割装置在权利要求书中公布了：1.一种砷化镓晶圆水平法切割装置，包括工作台（1）与驱动电机（2），其特征在于：所述工作台（1）表面开设有放置砷化镓晶柱的凹槽（3），所述凹槽（3）的底部为弧形，所述凹槽（3）的底部滑动连接有驱动推杆（4），所述驱动推杆（4）左端有部分凸起并且其左端位于砷化镓晶柱的左侧，所述凹槽（3）的上方设有压盖（5），所述压盖（5）可以将砷化镓的上端盖住，所述压盖（5）的上端右侧固定连接有顶动块（6），所述顶动块（6）的右侧为斜面，所述工作台（1）表面对应压盖（5）的两侧位置均固定连接有限位板（7），所述工作台（1）的右侧底部固定连接有辅助台（8），所述辅助台（8）上端上下滑动连接有支撑架（9），所述支撑架（9）的上端固定连接有打磨筒（10），所述打磨筒（10）的左端固定连接有内齿环（11），所述内齿环（11）右侧转动连接有外齿环（12），所述驱动电机（2）固定连接在内齿环（11）的左侧，所述驱动电机（2）转动轴贯穿内齿环（11）后固定连接有驱动齿轮（13），所述驱动齿轮（13）与外齿环（12）啮合，所述外齿环（12）表面转动连接有三个等距排列的转动齿轮（14），三个所述转动齿轮（14）均与内齿环（11）啮合并且三个所述转动齿轮（14）转动轴贯穿外齿环（12），三个所述转动齿轮（14）转动轴右端均设有球铰链机构，三个所述转动齿轮（14）转动轴均通过球铰链机构连接有打磨辊（15），所述打磨辊（15）斜向布置并且其底部为圆弧形，所述打磨辊（15）的尾端固定连接有轴承（16），所述轴承（16）表面固定连接有可伸缩的弧形拉板（17），所述弧形拉板（17）的顶部贯穿打磨筒（10），所述打磨筒（10）对应弧形拉板（17）位置开设有通槽（18），所述通槽（18）将打磨筒（10）分为两部分，所述打磨筒（10）的表面对应通槽（18）位置套接有推动环（19），所述弧形拉板（17）的顶部滑动在推动环（19）的内壁上，所述弧形拉板（17）的中间位置固定连接有拉动绳（20），所述拉动绳（20）的另一端与推动环（19）的内壁固定连接，所述打磨筒（10）上端对应顶动块（6）位置滑动连接有推动杆（21），所述推动杆（21）左端为斜面并且其右端与推动环（19）接触，所述打磨筒（10）的内壁右侧设有限定机构，所述限定机构用来限定打磨后的砷化镓晶柱符合晶柱的最大圆。

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