恭喜应用材料公司安德烈亚斯·勒普获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115698370B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180039228.X,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法是由安德烈亚斯·勒普;斯蒂芬·班格特设计研发完成,并于2021-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法在说明书摘要公布了:描述了一种用于蒸发源的温度控制遮蔽件。温度控制遮蔽件被配置成提供预加热区或后冷却区。
本发明授权用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于将一蒸发材料沉积到基板上的材料沉积设备,所述材料沉积设备包括: 蒸发源110,所述蒸发源110包括多个喷嘴,所述多个喷嘴包括两个最外侧喷嘴,其中所述两个最外侧喷嘴在不同方向上倾斜;和 一个或多个温度控制遮蔽件,其中所述一个或多个温度控制遮蔽件布置在所述蒸发源处并从所述蒸发源向外朝向基板输送装置延伸。
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