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恭喜株式会社大福衣川知孝获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社大福申请的专利顶棚搬送车、教学单元、以及顶棚搬送车中的移载位置学习方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113725132B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110550163.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权顶棚搬送车、教学单元、以及顶棚搬送车中的移载位置学习方法是由衣川知孝设计研发完成,并于2021-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

顶棚搬送车、教学单元、以及顶棚搬送车中的移载位置学习方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种顶棚搬送车10,顶棚搬送车10将晶圆传送盒等沿着行驶导轨92进行搬送,并移载于晶圆装载台94。升降部15能够使教学单元20进行升降。教学单元20具备单元主体21、教学板31以及第1测距仪40等。教学单元20能够基于教学板31的位置来学习晶圆传送盒等相对于晶圆装载台94而言的移载位置。单元主体21能够支撑教学板31,通过教学板31被移载于晶圆装载台94来解除对教学板31的支撑。

本发明授权顶棚搬送车、教学单元、以及顶棚搬送车中的移载位置学习方法在权利要求书中公布了:1.一种顶棚搬送车,该顶棚搬送车具备:沿着在设备内的顶棚敷设的行驶导轨而行驶自如的行驶部、被支撑在所述行驶部且与所述行驶部成为一体地行驶的主体部、以及能够支撑被搬送物且相对于所述主体部能够升降的升降部, 在通过所述升降部而对所述被搬送物进行支撑的状态下,利用所述行驶部的行驶而将所述被搬送物沿着所述行驶导轨进行搬送,通过所述升降部的升降,能够将所述被搬送物移载于所述设备内的移载部, 其特征在于, 所述升降部构成为:对为了学习所述被搬送物相对于所述移载部而言的移载位置而被使用的教学单元进行支撑,且相对于所述主体部能够升降, 所述教学单元具备:单元主体,其被所述升降部支撑;教学板,其设置在所述移载部;以及检测部,其被所述单元主体支撑且对所述教学板的位置进行检测;能够基于被所述检测部检测出的所述教学板的位置来使所述顶棚搬送车学习所述被搬送物相对于所述移载部而言的移载位置, 所述单元主体构成为能够对所述教学板进行支撑, 通过所述教学板被移载于所述移载部来解除对所述教学板的支撑。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社大福,其通讯地址为:日本国大阪府;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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