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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利光刻机控制系统以及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115128910B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110344764.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机控制系统以及控制方法是由马鹏川;吴卫军;杨元培设计研发完成，并于2021-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机控制系统以及控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光刻机控制系统以及控制方法，其中，所述光刻机控制系统包括：整机控制系统、曝光系统、移动台系统以及剂量曝光控制单元触发系统，所述整机控制系统规划曝光队列，并将曝光队列的参数信息下发至曝光系统和移动台系统；所述移动台系统根据曝光队列的参数信息移动到指定位置，并输出曝光信号至曝光系统；所述曝光系统根据曝光队列的参数信息完成曝光，并输出移动信号至移动台系统；所述剂量曝光控制单元触发系统用于曝光系统和移动台系统之间的信息交互。采用所述光刻机控制系统能够实现曝光系统和移动台系统之间的信息直连互通，减少通讯时间，降低曝光的消耗时间，提高光刻机控制系统的产率，同时提高光刻机控制系统的可靠性。

本发明授权光刻机控制系统以及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机控制系统，其特征在于，包括：整机控制系统、曝光系统、移动台系统以及剂量曝光控制单元触发系统，其中， 所述整机控制系统规划曝光队列，并将曝光队列的参数信息下发至所述曝光系统和移动台系统； 所述剂量曝光控制单元触发系统分别与所述移动台系统和曝光系统连接，用于所述曝光系统和移动台系统之间的信息交互；所述剂量曝光控制单元触发系统包括运动控制板卡、剂量控制板卡以及信息传输系统，所述剂量控制板卡与所述曝光系统连接，所述运动控制板卡与所述移动台系统连接，所述信息传输系统分别与所述剂量控制板卡和所述运动控制板卡连接；所述信息传输系统包括：曝光剂量控制单元光耦驱动电路、曝光剂量控制单元光耦接收电路、曝光剂量控制单元状态板卡、移动台光耦驱动电路、移动台光耦接收电路以及移动台状态板卡，其中，所述曝光系统输出的移动信号传输至所述曝光剂量控制单元状态板卡，并依次经所述曝光剂量控制单元光耦驱动电路和所述移动台光耦接收电路至所述移动台状态板卡；所述移动台系统输出的曝光信号传输至所述移动台状态板卡，并依次经移动台光耦驱动电路和曝光剂量控制单元光耦接收电路至所述曝光剂量控制单元状态板卡； 所述移动台系统与所述整机控制系统连接，所述移动台系统直接根据所述曝光队列的参数信息进行移动，或者，所述移动台系统在被所述曝光系统输出的移动信号触发后，根据所述曝光队列的参数信息进行移动，待所述移动台系统移动到指定位置后，所述移动台系统输出曝光信号，且所述曝光信号经所述剂量曝光控制单元触发系统至所述曝光系统； 所述曝光系统与所述整机控制系统连接，所述曝光系统在被所述移动台系统输出的曝光信号触发后，根据所述曝光队列的参数信息进行曝光，待所述曝光系统曝光完成后，所述曝光系统输出移动信号，且所述移动信号经所述剂量曝光控制单元触发系统至所述移动台系统。

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