恭喜鑫天虹(厦门)科技有限公司林俊成获国家专利权
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龙图腾网恭喜鑫天虹(厦门)科技有限公司申请的专利晶圆承载固定装置及薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110320510.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆承载固定装置及薄膜沉积设备是由林俊成;沈祐德;郭大豪;郑啓鸿设计研发完成，并于2021-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载固定装置及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本发明为一种晶圆承载固定装置，主要包括一承载盘、一第一盖环及一第二盖环，其中承载盘包括一承载面用以承载一晶圆。第二盖环连接第一盖环，并放置在第一盖环的内侧，其中第一盖环的周长大于第二盖环，并用以承载第二盖环。当承载盘朝第一盖环及第二盖环位移时，第二盖环会接触承载盘上的晶圆，以将晶圆固定在承载盘的承载面上，并可对晶圆进行薄膜沉积制程。
本发明授权晶圆承载固定装置及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载固定装置，用以承载及固定大尺寸或小尺寸晶圆，其特征在于，包括： 一承载盘，包括一承载面用以承载该晶圆； 一承载构件，设置在该承载盘上，并位于该晶圆的下方，其中该承载构件包括一第一承载部及一第二承载部，该第一承载部包括一缺口，而该第二承载部则位于该缺口内； 至少一升降单元，连接该承载构件，并用以带动该第一承载部及该晶圆相对于该承载盘位移，使该晶圆离开该承载盘的该承载面； 一第一盖环，位于该承载盘的上方；及 一第二盖环，连接该第一盖环，并放置在该第一盖环上，其中该第一盖环的周长大于该第二盖环，并用以承载该第二盖环，当该承载盘承载小尺寸的该晶圆朝该第二盖环位移时，该第二盖环会接触小尺寸的该晶圆；或当将该第二盖环由该第一盖环上取下，该承载盘承载大尺寸的该晶圆朝该第一盖环位移时，该第一盖环会接触大尺寸的该晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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