恭喜巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学S·V·克伦克获国家专利权
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龙图腾网恭喜巴斯夫欧洲公司;韦恩州立大学申请的专利产生含金属或含半金属的膜的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114729449B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080079413.7,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权产生含金属或含半金属的膜的方法是由S·V·克伦克;A·G·赫夫纳格尔;H·威尔默;D·罗夫勒;S·魏戈尼;K·希尔勒-阿恩特;C·H·温特;N·韦拉滕加西里卡图格设计研发完成,并于2020-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本产生含金属或含半金属的膜的方法在说明书摘要公布了:本发明属于制备含无机金属或含无机半金属的膜的方法的领域。制备含无机金属或含无机半金属的膜的方法包括:a将含金属或含半金属的化合物从气态沉积至固体基材上和b使具有沉积的含金属或含半金属的化合物的固体基材与通式I或II化合物接触;其中Z为NR2、PR2、OR、SR、CR2、SiR2,X为H、R’或NR’2,其中至少一个X为H,n为1或2,和R和R’为烷基、链烯基、芳基或甲硅烷基。
本发明授权产生含金属或含半金属的膜的方法在权利要求书中公布了:1.制备含无机金属或含无机半金属的膜的方法,包括: a将含金属或含半金属的化合物从气态沉积至固体基材上,和 b使具有沉积的含金属或含半金属的化合物的固体基材与作为还原剂的通式II化合物接触, 其中Z为NR2、PR2、OR或SR, X为H、R’或NR’2,其中至少一个X为H,n为1或2,和 R和R’为甲基、乙基、异丙基、仲丁基、叔丁基、三甲基甲硅烷基。
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