恭喜川崎重工业株式会社清水一平获国家专利权
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龙图腾网恭喜川崎重工业株式会社申请的专利基板保持机械手和基板搬运机器人获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116325107B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080103709.8,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人是由清水一平;高氏龙之介设计研发完成,并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持机械手和基板搬运机器人在说明书摘要公布了:该基板保持机械手1具备:框架10;多个叶片20,它们分别支承基板W;以及安装部件30,其用于支承多个叶片,并且将多个叶片安装于框架。多个叶片以在与叶片的主面20a垂直的方向上排列的方式配置,能够在将位于与叶片的主面垂直的方向上的端部的、即端部的叶片安装于安装部件的状态下,从安装部件取下中间的叶片。
本发明授权基板保持机械手和基板搬运机器人在权利要求书中公布了:1.一种基板保持机械手,其特征在于,具备: 框架; 多个叶片,它们分别支承基板;以及 安装部件,其用于支承多个所述叶片,并且将多个所述叶片安装于所述框架, 多个所述叶片以在与所述叶片的主面垂直的方向上排列的方式配置,能够在将位于与所述叶片的主面垂直的方向上的端部的、即端部的所述叶片安装于所述安装部件的状态下,从所述安装部件取下中间的所述叶片, 所述端部的叶片包括:第1插通孔部,其用于供将所述端部的叶片紧固固定于所述安装部件的第1紧固部件进行插通;以及第2插通孔部,其用于供将所述中间的叶片紧固固定于所述安装部件的第2紧固部件进行插通,并且在从与所述叶片的主面垂直的方向进行观察的情况下,所述第2紧固部件从所述第2插通孔部露出。
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