恭喜柿子技术公司S·威尔卡斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜柿子技术公司申请的专利用于机器人系统的基于雷达的位置测量获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113711342B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080024969.6,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权用于机器人系统的基于雷达的位置测量是由S·威尔卡斯设计研发完成,并于2020-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于机器人系统的基于雷达的位置测量在说明书摘要公布了:一种装置,包括至少一个发射器,至少一个发射器被配置为发射能量;至少一个接收器,至少一个接收器被配置为接收所发射的能量,其中至少一个发射器被安装在以下项中的至少一项上:机械臂,机械臂的端部执行器,机械臂上的基板,或基板处理模块,其中至少一个接收器被安装在以下项中的至少一项上:机械臂,机械臂的端部执行器,机械臂上的基板,或基板处理模块。
本发明授权用于机器人系统的基于雷达的位置测量在权利要求书中公布了:1.一种装置,包括: 至少一个发射器,被配置为发射能量; 至少一个接收器,被配置为接收所发射的能量, 其中所述至少一个发射器被安装在以下项中的至少一项上: 机械臂, 所述机械臂的端部执行器, 所述机械臂上的基板,或 基板处理模块, 其中所述至少一个接收器被安装在以下项中的至少一项上: 所述机械臂, 所述机械臂的所述端部执行器, 所述机械臂上的所述基板,或 所述基板处理模块; 其中所述至少一个发射器包括多个发射器,其中所述多个发射器被安装到所述基板处理模块的腔室并且具有相应不同的能量传输方向,所述相应不同的能量传输方向朝向所述腔室中的中心基板定位区域。
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