恭喜上海升翕光电科技有限公司轩景泉获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海升翕光电科技有限公司申请的专利蒸发源喷嘴获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113005408B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911325298.2,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权蒸发源喷嘴是由轩景泉;钱海涛;林文晶;马晓宇设计研发完成,并于2019-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发源喷嘴在说明书摘要公布了:本申请涉及蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸发源喷嘴。该蒸发源喷嘴包括喷嘴本体,所述喷嘴本体包括用于使蒸发材料流通的通道;内套,所述内套和所述通道的内壁之间设置有转动组件,至少部分所述内套通过所述转动组件可转动地设置于所述通道内。本申请提供的蒸发源喷嘴的至少部分内套通过转动组件可转动地设置于通道内,如此有利于附着在内套上的冷凝材料蒸发或回落至坩埚,从而降低了蒸发材料冷凝后会堵塞喷嘴的可能性,提高了蒸镀的质量。
本发明授权蒸发源喷嘴在权利要求书中公布了:1.一种蒸发源喷嘴,其特征在于,包括: 喷嘴本体(1),所述喷嘴本体(1)包括用于使蒸发材料流通的通道(10); 内套(2),所述内套(2)和所述通道(10)的内壁之间设置有转动组件,至少部分所述内套(2)通过所述转动组件可转动地设置于所述通道(10)内; 所述通道(10)沿出料方向依次包括第一通道(101)、第二通道(102)和第三通道(103),所述内套(2)沿出料方向依次包括第一内套(21)、第二内套(22)和第三内套(23),所述第一内套(21)设置于所述第一通道(101)内,所述第二内套(22)设置于所述第二通道(102)内,所述第三内套(23)设置于所述第三通道(103)内;所述第一通道(101)、所述第二通道(102)和所述第三通道(103)中的至少一者设置有所述转动组件; 所述转动组件包括设置于所述第三通道(103)内的第一转动组件,所述第三通道(103)沿出料方向的直径逐渐减小。
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