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龙图腾网恭喜普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司申请的专利全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006736U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520927844.4，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统是由雷剑锋;陈皓设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统，包括全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统，包括机体和安装于机体上的上料模块、检测模块，机体内部设置有检测腔，上料模块包括储料组件、上料组件、寻边组件和除尘组件，储料组件安装于机体的右侧壁，上料组件和寻边组件内置于检测腔内，除尘组件安装于机体的顶部，储料组件包括兼容载板、位置传感器、指示灯和确认按钮。本实用新型通过储料组件的感应防撞设计、上料组件的映射检测、寻边组件的精确定位及平台组件的抗干扰检测，实现晶圆的高效、高精度自动化检测，系统支持模块化扩展，兼容多种上下料模式及检测需求，显著提升检测准确性与稳定性，适用于半导体制造领域。

本实用新型全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统在权利要求书中公布了：1.全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统，其特征在于：包括全自动晶圆形貌厚度测量及分选系统，包括机体（1）和安装于机体（1）上的上料模块、检测模块，所述机体（1）内部设置有检测腔（2），所述上料模块包括储料组件（3）、上料组件（4）、寻边组件（5）和除尘组件（6），所述储料组件（3）安装于机体（1）的右侧壁，所述上料组件（4）和寻边组件（5）内置于检测腔（2）内，所述除尘组件（6）安装于机体（1）的顶部，所述储料组件（3）包括兼容载板（7）、位置传感器（8）、指示灯（9）和确认按钮（10），所述位置传感器（8）安装于兼容载板（7）的上方且检测端正对兼容载板（7），所述指示灯（9）安装于位置传感器（8）的上方，所述确认按钮（10）安装于兼容载板（7）的拐角处，所述上料组件（4）包括机器人本体（11）和安装于机器人本体（11）顶部的牙叉（12），所述机器人本体（11）的顶部还配备有映射测量仪（13），所述寻边组件（5）包括XYR运动平台（14）、读码OCR（15）、视觉模块（16）和载台（17），所述读码OCR（15）设置于XYR运动平台（14）的上方，所述视觉模块（16）位于读码OCR（15）的一侧，所述载台（17）位于视觉模块（16）的上方，所述检测模块包括检测组件（18）和平台组件（19）且两者均设置于检测腔（2）内。

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