恭喜季华实验室吴进获国家专利权
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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利一种分子束外延设备及垂直腔面激光器生长方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119900079B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510395229.8,技术领域涉及:C30B25/12;该发明授权一种分子束外延设备及垂直腔面激光器生长方法是由吴进;肖永能;郭可升;张皓林;胡强设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分子束外延设备及垂直腔面激光器生长方法在说明书摘要公布了:本申请属于分子束外延设备领域,公开了一种分子束外延设备及垂直腔面激光器生长方法,通过在同一托盘上同时生长正式产品和测试结构,并使用遮挡装置控制测试结构的生长,解决了现有技术中需要单独生长测试结构或复杂处理正式产品的问题,具有节省时间和源料、提高生长参数控制精度、便于问题定位的优点。
本发明授权一种分子束外延设备及垂直腔面激光器生长方法在权利要求书中公布了:1.一种分子束外延设备,包括生长室,其特征在于,还包括:托盘(1),其包括产品区(101)和测试区(102),所述产品区(101)中设置有至少一个第一定位槽(103),所述第一定位槽(103)用于定位放置第一衬底,所述第一衬底用于生长正式产品,所述测试区(102)中设置有至少一个第二定位槽(104),所述第二定位槽(104)用于定位放置第二衬底,所述第二衬底用于生长测试结构;所述测试结构与所述正式产品的部分生长结构相同;加热器(2),设置在所述托盘(1)下侧,并用于加热所述托盘(1);遮挡装置,能够遮挡和敞开所述第二定位槽(104),并用于在生长过程中适时遮挡所述第二定位槽(104),以使所述第二定位槽(104)中的第二衬底上形成所述测试结构;所述加热器(2)包括用于加热所述产品区(101)的第一加热区(201)以及用于加热所述测试区(102)的第二加热区(202);所述第一加热区(201)和所述第二加热区(202)的加热功率能够独立调节。
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