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龙图腾网恭喜广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种旋转式清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222999233U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421493904.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种旋转式清洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种旋转式清洗装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种旋转式清洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括转盘、驱动器以及喷淋组件；驱动器与转盘连接，用于带动转盘转动；转盘的顶面设有绕转盘的中心轴线圆周分布的若干个治具；治具用于呈倾斜地固定衬底片，并使得衬底片靠近转盘的中心轴线的第一面倾斜朝下设置，而远离转盘的中心轴线的第二面倾斜朝上设置；喷淋组件包括第一喷淋管以及第二喷淋管；第一喷淋管竖直设置在转盘上方，且自身中心轴线与转盘的中心轴线重合；第一喷淋管用于对衬底片的第一面进行喷淋清洗；第二喷淋管用于对衬底片的第二面进行喷淋清洗。实现对衬底片的第一面与第二面进行同步清洗，有效提升清洗效率，且操作简单方便。

本实用新型一种旋转式清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转式清洗装置，其特征在于，包括转盘（1）、驱动器（2）以及喷淋组件（3）； 所述驱动器（2）与所述转盘（1）连接，用于带动所述转盘（1）转动； 所述转盘（1）的顶面设有绕所述转盘（1）的中心轴线圆周分布的若干个治具（4）； 所述治具（4）用于呈倾斜地固定衬底片（5），并使得衬底片（5）靠近所述转盘（1）的中心轴线的第一面倾斜朝下设置，而远离所述转盘（1）的中心轴线的第二面倾斜朝上设置； 所述喷淋组件（3）包括第一喷淋管（31）以及第二喷淋管（32）； 所述第一喷淋管（31）竖直设置在所述转盘（1）上方，且自身中心轴线与所述转盘（1）的中心轴线重合； 所述第一喷淋管（31）上设有多个用于对位于所述治具（4）上的衬底片（5）的第一面进行喷淋清洗的第一喷孔（311）； 所述第二喷淋管（32）与所述第一喷淋管（31）连接，且设有多个用于对位于所述治具（4）上的衬底片（5）的第二面进行喷淋清洗的第二喷孔（321）。

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