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龙图腾网恭喜广东华升纳米科技股份有限公司申请的专利一种阴极一体化涂层制备方法、装置以及AlTiN涂层获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118563265B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410650336.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种阴极一体化涂层制备方法、装置以及AlTiN涂层是由陈亚奋;王晓琴;李立升;张家权设计研发完成，并于2024-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种阴极一体化涂层制备方法、装置以及AlTiN涂层在说明书摘要公布了：本发明涉及涂层制备技术领域，提供了一种阴极一体化涂层制备方法、装置以及AlTiN涂层。本发明对基体进行阴极一体化高功率脉冲磁控溅射，得到涂层；所述阴极一体化高功率脉冲磁控溅射的阴极放电方式为高电流、高电压放电；所述高电流、高电压放电的峰值电流为200～2000A，峰值电压为200～2000V，放电波形为方形。本发明提供的制备方法能够实现高离化率，高沉积速率，制备出集AIP优点和MS优点的涂层；且利用该放电特性，容易通过参数的调节实现涂层晶粒尺寸、择优取向和物相结构的调节，进而实现涂层硬度和韧性调节，极大地提升了涂层性能，同时还可针对性调整涂层性能，扩宽工艺窗口。

本发明授权一种阴极一体化涂层制备方法、装置以及AlTiN涂层在权利要求书中公布了：1.一种阴极一体化涂层制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 对基体进行阴极一体化高功率脉冲磁控溅射，得到涂层；所述阴极一体化高功率脉冲磁控溅射的阴极放电方式为同时进行高电流、高电压放电；所述高电流、高电压放电的放电波形为方形，峰值电流的可持续放电时间为0.1～10ms；所述阴极一体化高功率脉冲磁控溅射的模式为恒电流模式； 所述阴极一体化高功率脉冲磁控溅射的条件包括：阴极平均功率为4～40KW，阴极脉冲频率为200～3000Hz，阴极占空比为3～40％；Ar和N2的流量比值为1.4～3.5，腔压为0.35～1Pa，腔体温度为500±50℃；偏压电源频率为20～50KHz，偏压电源占空比为30％～90％； 所述涂层为AlTiN涂层；所述AlTiN涂层的晶粒为粗大柱状晶、细小柱状晶和致密晶中的一种或多种； 当所述AlTiN涂层的晶粒为粗大柱状晶时，制备所述AlTiN涂层的阴极一体化高功率脉冲磁控溅射条件包括：阴极峰值电流为450±100A，阴极峰值电压为700±50V，氮气流量为130±5sccm，基体偏压为40±10V； 当所述AlTiN涂层的晶粒为细小柱状晶时，制备所述AlTiN涂层的阴极一体化高功率脉冲磁控溅射条件包括：阴极峰值电流为600±100A，阴极峰值电压为720±50V，氮气流量为140±5sccm，基体偏压为70±10V； 当所述AlTiN涂层的晶粒为致密晶时，制备所述AlTiN涂层的阴极一体化高功率脉冲磁控溅射条件包括：阴极峰值电流为750±100A，阴极峰值电压为750±50V，氮气流量为165±5sccm，基体偏压为70±10V。

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