恭喜应用材料股份有限公司陈勤获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料股份有限公司申请的专利用于处理衬底的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115516599B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180031025.6，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权用于处理衬底的方法是由陈勤;朱利安·G·布雷克;麦可·W·奥斯邦;史蒂芬·M·恩尔拉;乔纳森·D·菲斯契尔设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理衬底的方法在说明书摘要公布了：一种用于处理衬底的方法可包括：在夹具上提供衬底；以及在衬底处理期间当衬底设置在夹具上时，将辐射从照射源射出到衬底，其中所述辐射由辐射能量进行表征，其中所述辐射能量的至少一部分等于或大于2.5eV。
本发明授权用于处理衬底的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理衬底的方法，包括： 在静电夹具上提供衬底；以及 在衬底处理期间，当所述衬底设置在所述静电夹具上时，将辐射从照射源射出到所述衬底， 其中所述辐射包含辐射能量，其中所述辐射能量的至少一部分等于或大于2.5eV， 其中将所述辐射射出到所述衬底的前侧，且所述静电夹具夹持所述衬底的与所述前侧相对的后侧， 其中所述辐射是窄的辐射束，且所述窄的辐射束包括比所述衬底的面积小的束横截面；以及 在所述衬底上方快速地扫描所述窄的辐射束，其中所述窄的辐射束产生束包络线来覆盖所述衬底。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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