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龙图腾网恭喜昂图创新有限公司申请的专利干涉缺陷检查中的样品表面偏振修改获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114467021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080067781.X，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权干涉缺陷检查中的样品表面偏振修改是由N·P·史密斯设计研发完成，并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本干涉缺陷检查中的样品表面偏振修改在说明书摘要公布了：使用从干涉仪中的干涉通道和偏振修改通道采集的数据来检测缺陷。干涉物镜将偏振照明束分成参考照明和样品束，该参考照明由参考表面反射而不修改偏振，并且该样品束由样品表面反射而可能修改偏振。来自具有无偏振变化的该样品束的光与该参考照明组合并且被引导到该干涉通道，其可测量样品的反射率和或形貌。来自具有修改的偏振的该样品束的光被引导到该偏振修改通道。在该偏振修改通道处检测到的光的强度可与该反射率和形貌数据一起使用以识别该样品的缺陷或其它特性。

本发明授权干涉缺陷检查中的样品表面偏振修改在权利要求书中公布了：1.一种光学检查设备，所述光学检查设备被配置成检测样品上的缺陷，所述光学检查设备包括： 干涉物镜，所述干涉物镜包括偏振分束器，所述偏振分束器被配置成接收被偏振的照明束并将所述照明束的第一部分朝向参考镜引导作为参考照明，并且被配置成将所述照明束的第二部分朝向所述样品引导作为样品照明，其中，所述参考镜被配置成反射所述照明束的第一部分，以产生反射参考照明，所述偏振分束器还被配置成从所述参考镜接收所述反射参考照明并且从所述样品接收反射样品照明，所述偏振分束器被配置成将所述反射样品照明的第一部分和所述反射参考照明组合为干涉束，所述干涉束沿着干涉通道引导，并且所述反射样品照明的第二部分沿着不同于所述干涉通道的偏振修改通道引导； 第一检测器，所述第一检测器在所述干涉通道中且被配置成接收所述干涉束并且产生来自所述样品的第一组光学数据； 第二检测器，所述第二检测器在所述偏振修改通道中，并且被配置成接收所述反射样品照明的第二部分并产生指示所述样品照明的偏振修改的第二组光学数据；和 至少一个处理器，所述至少一个处理器耦合到所述第一检测器和所述第二检测器，并且被配置成使用所述第一组光学数据和来自所述第二组光学数据的偏振修改检测所述样品上的缺陷。

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