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龙图腾网恭喜中北大学申请的专利基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111521842B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010558196.1，技术领域涉及：G01P15/14；该发明授权基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计是由张瑞;王旭虎设计研发完成，并于2020-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计在说明书摘要公布了：基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。

本发明授权基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计在权利要求书中公布了：1.基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，其特征在于，包括：支撑框架1，键合基板27，扭转支撑梁2，扭转质量块3，谐振质量块4、5，磁阻元件10、13，固定刚度调节电极6、8、9，可动刚度调节电极7a、7b、7c、7d，检测磁体28、29和驱动磁体30、31、32、33； 所述支撑框架1设置在所述键合基板27上，所述支撑框架1上开设有以支撑框架1的Y轴中心线为中心轴非对称设置的第一质量块安装槽，所述扭转质量块3适配所述第一质量块安装槽的形状设置在所述第一质量块安装槽内，所述扭转质量块3通过扭转支撑梁2与所述支撑框架1连接； 所述扭转质量块3上沿支撑框架1的Y轴中心线为中心轴对称设置有两个第二质量块安装槽，两个所述第二质量块安装槽之间以及两侧分别开设有调节电极露出孔；所述谐振质量块4、5设置在所述第二质量块安装槽内，所述谐振质量块4、5的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块3连接，所述磁阻元件10、13设置在所述谐振质量块4、5上，所述谐振质量块4、5的X轴两端设置所述可动刚度调节电极7a、7b、7c、7d； 所述键合基板27上表面设置有一个方形的凹槽，所述凹槽内设置有所述固定刚度调节电极6、8、9，检测磁体28、29和驱动磁体30、31、32、33，所述固定刚度调节电极6、8、9对应所述调节电极露出孔的位置设置并与所述可动刚度调节电极7a、7b、7c、7d交叉配合，所述检测磁体28、29对应磁阻元件10、13的位置设置，所述驱动磁体30、31、32、33对应所述驱动组合梁的位置设置。

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