恭喜科磊股份有限公司张晶获国家专利权
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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利用于半导体应用的可学习缺陷检测获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113678236B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080027481.9,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权用于半导体应用的可学习缺陷检测是由张晶;袁周宁;董宇杰;K·巴哈斯卡尔设计研发完成,并于2020-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体应用的可学习缺陷检测在说明书摘要公布了:本发明提供用于半导体应用的可学习缺陷检测方法及系统。一种系统包含深度度量学习缺陷检测模型,其经配置以用于将样品的测试图像及对应参考图像投影到潜在空间中,确定在所述潜在空间中所述测试图像的一或多个不同部分与所述对应参考图像的对应部分之间的距离,及基于所述经确定距离而检测所述测试图像的所述一或多个不同部分中的缺陷。另一系统包含可学习低秩参考图像产生器,其经配置以用于从样品的一或多个测试图像移除噪声,借此产生对应于所述一或多个测试图像的一或多个参考图像。
本发明授权用于半导体应用的可学习缺陷检测在权利要求书中公布了:1.一种经配置以检测样品上的缺陷的系统,其包括: 一或多个计算机系统;及 一或多个组件,其由所述一或多个计算机系统执行,其中所述一或多个组件包括深度度量学习缺陷检测模型,所述深度度量学习缺陷检测模型经配置以用于: 将针对样品产生的测试图像及对应参考图像投影到潜在空间中; 针对所述测试图像的一或多个不同部分,确定在所述潜在空间中所述一或多个不同部分与所述对应参考图像的对应一或多个部分之间的距离;及 分别基于针对所述测试图像的所述一或多个不同部分确定的所述距离而检测所述测试图像的所述一或多个不同部分中的缺陷。
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