恭喜安徽微芯长江半导体材料有限公司夏振伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利碳化硅籽晶与石墨纸粘结设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119900092B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510404929.9,技术领域涉及:C30B35/00;该发明授权碳化硅籽晶与石墨纸粘结设备及方法是由夏振伟;章磊;孔海宽;吴寒设计研发完成,并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅籽晶与石墨纸粘结设备及方法在说明书摘要公布了:本发明提供碳化硅籽晶与石墨纸粘结设备及方法,属于涉及晶体接合技术领域,包括用于承载籽晶的承载装置,用于限位石墨纸的限位装置,还包括压合装置,所述压合装置位于石墨纸远离籽晶一侧,所述压合装置包括压合平台,所述压合平台下端转动连接有压合安装架,所述压合安装架下端设置有压合组件,所述压合组件底部形成有压合线,还包括驱动压合组件围绕预定轴线转动的驱动装置,压合组件定向转动的过程中与所述石墨纸外侧表面抵紧,且所述压合线在一个虚拟的压合平面内移动。该发明避免了直接全面压合导致气泡无法排出,压合粘结准备时间短、压合粘结效率高,提高了粘结层胶水分布的均匀性,提高了后续碳化硅籽晶粘结的效果和质量。
本发明授权碳化硅籽晶与石墨纸粘结设备及方法在权利要求书中公布了:1.碳化硅籽晶与石墨纸粘结设备,包括用于承载籽晶(100)的承载装置(300),用于限位石墨纸(200)的限位装置(400),其特征在于: 还包括压合装置(500),所述压合装置(500)位于石墨纸(200)远离籽晶(100)一侧,所述压合装置(500)包括压合平台(510),所述压合平台(510)下端转动连接有压合安装架(540),所述压合安装架(540)下端设置有压合组件(530),所述压合组件(530)底部形成有压合线,还包括驱动压合组件(530)围绕预定轴线转动的驱动装置(520); 压合组件(530)定向转动的过程中与所述石墨纸(200)外侧表面抵紧,且所述压合线在一个虚拟的压合平面内移动,所述虚拟的压合平面与所述籽晶(100)粘结表面平行; 所述压合组件(530)包括压合定位杆(531),所述压合定位杆(531)外侧套设有筒状的压合部,所述压合线位于所述压合部最底部且与所述压合部的轴线平行; 所述压合部包括套设于压合定位杆(531)外侧的第一压合筒(532),所述第一压合筒(532)外侧套设有第二压合筒(533),所述第一压合筒(532)和第二压合筒(533)之间设置有驱动组件用于控制第二压合筒(533)定向移动; 所述第一压合筒(532)包括大头端(5324)和导向端(5325),所述大头端(5324)侧壁固定有导向杆(5322),所述第二压合筒(533)内部开有与导向杆(5322)相配合的导向槽(5331),所述导向杆(5322)末端与所述导向槽(5331)密封滑动连接形成控制腔室,所述驱动组件为液压驱动机构,所述液压驱动机构与所述控制腔室连通。
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