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恭喜松下知识产权经营株式会社糸井清一获国家专利权

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龙图腾网恭喜松下知识产权经营株式会社申请的专利半导体装置及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111834240B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010215487.0,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权半导体装置及其制造方法是由糸井清一;樱井大辅设计研发完成,并于2020-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体装置及其制造方法在说明书摘要公布了:本公开提供一种半导体装置及其制造方法,该半导体装置的制造方法能够实现稳定的形状的突起电极。半导体装置的制造方法包括:树脂形成工序,利用固化树脂覆盖包括多个电极焊盘的半导体元件的表面;突起形成工序,在电极焊盘上形成固化树脂的突起部,并且使突起部固化;树脂供给工序,通过耐镀覆液性树脂覆盖突起部;树脂露出工序,通过除去耐镀覆液性树脂的一部分,使突起部的一部分在耐镀覆液性树脂的表面上露出;溶解工序,通过除去相当于突起部的固化树脂,从而在耐镀覆液性树脂形成空洞部;镀覆工序,在空洞部填充金属;和树脂除去工序,除去耐镀覆液性树脂。

本发明授权半导体装置及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体装置的制造方法,包括: 树脂形成工序,利用固化树脂覆盖包括多个电极焊盘的半导体元件的表面; 突起形成工序,在所述电极焊盘上形成所述固化树脂的突起部,并且使所述突起部固化; 树脂供给工序,通过对镀覆液具有耐性的耐镀覆液性树脂覆盖所述突起部; 树脂露出工序,通过除去所述耐镀覆液性树脂的一部分,使所述突起部的一部分在所述耐镀覆液性树脂的表面上露出; 溶解工序,通过除去相当于所述突起部的所述固化树脂,从而在所述耐镀覆液性树脂形成空洞部; 镀覆工序,在所述空洞部填充金属;和 树脂除去工序,除去所述耐镀覆液性树脂。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人松下知识产权经营株式会社,其通讯地址为:日本大阪府;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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