恭喜台湾积体电路制造股份有限公司欧阳盼盼获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微影图案化的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111123652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911044481.5，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权微影图案化的方法是由欧阳盼盼设计研发完成，并于2019-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本微影图案化的方法在说明书摘要公布了：根据一些实施例，本公开实施例提供一种微影图案化的方法。此方法包括：形成光阻层于基底上方；执行渗透制程将金属化合物引入此光阻层以增强此光阻层对极紫外光辐射的敏感度；使用此极紫外光辐射对此光阻层执行曝光制程；以及对此光阻层执行显影制程以形成图案化阻抗层。
本发明授权微影图案化的方法在权利要求书中公布了：1.一种微影图案化方法，包括： 形成一光阻层于一基底之上； 使用一含金属前驱物对该光阻层执行一渗透制程，以增强该光阻层对一极紫外光辐射的敏感度； 在该渗透制程之后，使用该极紫外光辐射对该光阻层执行一曝光制程；以及 对该光阻层执行一显影制程以形成一图案化阻抗层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新竹市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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