恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司倪逸枫获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038930U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420623709.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置是由倪逸枫;吴凌峰;刘大威设计研发完成，并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置，属于半导体设备技术领域，包括：晶圆支撑机构，具有支撑部；晶舟托架，具有可供支撑部穿过的第一穿孔；用于承载晶圆的晶舟，晶舟搭载在晶舟托架上；升降驱动机构，升降驱动机构的一端连接晶舟托架，以带动晶舟托架上升或下降；晶舟托架具有沿竖直方向上升或下降的第一位置和第二位置，晶舟托架自第一位置下降至第二位置时，晶圆支撑机构的支撑部穿过第一穿孔，且晶舟下降至与晶圆分离，同时晶圆承载在支撑部上。有益效果：本实用新型的晶舟托架具有升降功能，能够将晶舟托架与晶圆分离，从而实现由晶舟型到非晶舟型的转变。
本实用新型一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置在权利要求书中公布了：1.一种从晶舟型转变为非晶舟型的晶圆倒片装置，其特征在于，包括： 一晶圆支撑机构，所述晶圆支撑机构具有支撑部； 一晶舟托架，所述晶舟托架具有可供所述支撑部穿过的第一穿孔； 一用于承载晶圆的晶舟，所述晶舟搭载在所述晶舟托架上； 一升降驱动机构，所述升降驱动机构的一端连接所述晶舟托架，以带动所述晶舟托架上升或下降； 所述晶舟托架具有沿竖直方向上升或下降的第一位置和第二位置，所述晶舟托架自所述第一位置下降至所述第二位置时，所述晶圆支撑机构的支撑部穿过所述第一穿孔，且所述晶舟下降至与所述晶圆分离，同时所述晶圆承载在所述支撑部上。
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