恭喜ASM IP私人控股有限公司李承泫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113913777B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110410051.1，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权基板处理方法是由李承泫;崔丞佑;金显哲;具盻炫设计研发完成，并于2021-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法在说明书摘要公布了：一种防止损坏下部图案化结构的基板处理方法包括：通过多次执行第一循环来形成具有一定厚度的第一薄膜，该第一循环包括将第一反应物供应到结构上并吹扫残留物；以及通过改变具有一定厚度的第一薄膜的化学成分来形成第二薄膜。
本发明授权基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，包括： 通过多次执行第一循环来形成吸附在图案化的旋涂硬掩模（SOH）结构上的具有一定厚度的第一薄膜，该第一循环包括将含硅源气体作为第一反应物供应到图案化的SOH结构上，吹扫残留物，以及通过供给惰性气体作为第二反应物形成惰性气体等离子体，使得第一反应物的构成材料吸附在衬底上，由此形成第一薄膜，其中惰性气体相对于第一反应物不反应，以解离硅源气体；以及 在形成第一薄膜之后，通过多次执行第二循环改变第一薄膜的化学成分来形成第二薄膜，所述第二循环包括供给反应气体，所述反应气体与图案化的SOH结构反应并且与含硅源气体反应，以及吹扫残留物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASM IP私人控股有限公司，其通讯地址为：荷兰阿尔梅勒；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号