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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利感光性树脂组合物、感光性干膜、层叠体和图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114127635B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080050683.5，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权感光性树脂组合物、感光性干膜、层叠体和图案形成方法是由林久美子;曾我恭子设计研发完成，并于2020-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本感光性树脂组合物、感光性干膜、层叠体和图案形成方法在说明书摘要公布了：提供感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物包含A含有有机硅骨架的聚合物和B光致产酸剂，B光致产酸剂包含B1鎓盐光致产酸剂和B2鎓盐以外的光致产酸剂。

本发明授权感光性树脂组合物、感光性干膜、层叠体和图案形成方法在权利要求书中公布了：1.感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物包含A含有有机硅骨架的聚合物和B光致产酸剂，B光致产酸剂包含B1鎓盐光致产酸剂和B2鎓盐以外的光致产酸剂， 所述鎓盐以外的光致产酸剂为乙二肟衍生物、β-酮基砜衍生物、二砜衍生物、硝基苄基磺酸酯衍生物、磺酸酯衍生物、酰亚胺磺酸盐衍生物、肟磺酸酯衍生物、亚氨基磺酸酯衍生物或三嗪衍生物， A含有有机硅骨架的聚合物包含由下述式a1～a4和b1～b4表示的重复单元， [化1] 式中，R1～R4各自独立地为碳数1～8的1价烃基，m为1～600的整数， a1～a4和b1～b4为满足0≤a1＜1、0≤a2＜1、0≤a3＜1、0≤a4＜1、0≤b1 ＜1、0≤b2＜1、0≤b3＜1、0≤b4＜1、0＜a1+a2+a3+a4＜1、0＜b1+b2+b3+b4＜1和a1+a2+a3+a4+b1+b2+b3+b4＝1的数， X1为由下述式X1表示的2价的基团，X2为由下述式X2表示的2价的基团，X3为由下述式X3表示的2价的基团，X4为由下述式X4表示的2价的基团， [化2] 式中，Z1为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R11和R12各自独立地为氢原子或甲基，R13和R14各自独立地为碳数1～4的烷基或碳数1～4的烷氧基，p1和p2各自独立地为0～7的整数，q1和q2各自独立地为0～2的整数， [化3] 式中，Z2为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R21和R22各自独立地为氢原子或甲基，R23和R24各自独立地为碳数1～4的烷基或碳数1～4的烷氧基，r1和r2各自独立地为0～7的整数，s1和s2各自独立地为0～2的整数， [化4] 式中，R31和R32各自独立地为氢原子或甲基，t1和t2各自独立地为0～7的整数， [化5] 式中，R41和R42各自独立地为氢原子或甲基，R43和R44各自独立地为碳数1～8的1价烃基，u1和u2各自独立地为0～7的整数，v为0～600的整数。

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