恭喜家登精密工业股份有限公司邱铭乾获国家专利权
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龙图腾网恭喜家登精密工业股份有限公司申请的专利基板容器系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112289719B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010404417.X,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权基板容器系统是由邱铭乾;林志铭;钟承恩;余念芸;李柏廷设计研发完成,并于2020-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板容器系统在说明书摘要公布了:一种基板容器系统,包括容器主体及后盖。所述容器主体具有底面、使基板能够通过的前开口、以及与所述前开口相对的后开口,其中,所述后开口的宽度小于所述前开口的宽度。所述后盖覆盖所述后开口并与所述容器主体建立密封地接合。所述后盖包括第一进气结构,在组装时所述第一进气结构弯曲地延伸在所述容器主体的底面下方,所述第一进气结构包括与所述容器主体的底面相对并且面向下的进气埠。
本发明授权基板容器系统在权利要求书中公布了:1.一种基板容器系统,其特征在于,包括: 容器主体,具有底面、使基板能够通过的前开口、以及与所述前开口相对的后开口,其中,所述后开口的宽度小于所述前开口的宽度,且所述容器主体组配来接收过滤组件,所述过滤组件覆盖所述容器主体的所述后开口;及 后盖,覆盖所述后开口并与所述容器主体建立密封地接合,其中,所述后盖和所述过滤组件共同定义了缓冲室; 导气通道,沿着所述后盖的高度方向延伸,其中,所述导气通道具有出口,所述出口连接到所述缓冲室; 其中,所述后盖包括一对分隔结构,所述分隔结构沿所述高度方向延伸,且沿宽度方向分别邻近所述后开口,所述分隔结构构成所述导气通道的侧壁,所述导气通道的所述出口形成在所述分隔结构中,所述出口通过所述分隔结构将导气通道与所述缓冲室连通; 其中,所述后盖包括第一进气结构,所述第一进气结构连接到所述导气通道,在组装时所述第一进气结构弯曲地延伸在所述容器主体的底面下方,所述第一进气结构包括与所述容器主体的底面相对并且面向下的进气埠,从所述进气埠向所述缓冲室中提供净化气体。
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