恭喜朗姆研究公司克里斯多夫·盖奇获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于增进热均匀性的具有多层加热器的陶瓷基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169109B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980079164.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于增进热均匀性的具有多层加热器的陶瓷基座是由克里斯多夫·盖奇设计研发完成，并于2019-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于增进热均匀性的具有多层加热器的陶瓷基座在说明书摘要公布了：一种用于被设置成在衬底上执行沉积工艺的衬底处理系统的衬底支撑件包含：基座，其具有被设置成支撑衬底的上表面；以及N个加热层，其中所述N个加热层在所述基座内在所述上表面下方竖直堆叠。所述N个加热层中的每一者包含各自的电阻加热元件。在所述N个加热层中的至少一者中的所述电阻加热元件的瓦特密度在所述衬底支撑件的至少一径向区中相对于所述衬底支撑件的其他径向区而变化。
本发明授权用于增进热均匀性的具有多层加热器的陶瓷基座在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理系统的衬底支撑件，所述衬底处理系统被设置成在衬底上执行沉积工艺，所述衬底支撑件包含： 基座，其具有被设置成支撑衬底的上表面；以及 N个加热层，其中所述N个加热层在所述基座内在所述上表面下方竖直堆叠，且其中所述N个加热层中的每一者包含各自的电阻加热元件， 其中所述N个加热层中的至少一者中的所述电阻加热元件中的至少一个在所述基座的第一区域中具有与i位于所述第一区域的径向内侧的基座的第二区域和ii位于所述第一区域的径向外侧的基座的第三区域不同的瓦特密度偏差。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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