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龙图腾网恭喜合肥工业大学申请的专利一种用于二氧化硅厚膜退火装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118147766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410474329.5，技术领域涉及：C30B33/02；该发明授权一种用于二氧化硅厚膜退火装置是由翟华;刘伟;汪凯博;彭世云设计研发完成，并于2024-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于二氧化硅厚膜退火装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于二氧化硅厚膜退火装置，涉及半导体硅片技术领域，包括：炉体；两保温门，其呈对称的滑动连接在炉体内，并将炉体内的空间分隔为退火腔和缓冲腔，投料口位置处铰接有封堵门；转动机构；多个支撑机构；移动平台；通过移动平台的移动，一方面带动两保温门的开启或者关闭，以及封堵门的开关，在两扇门的配合下，使在硅片的取料放料过程中，尽可能减少退火腔的温度流失；同时通过转盘在转动的过程中，通过齿轮与第一齿条、第二齿条啮合配合，被动的带动第二支撑环反复的进行升降，从而实现多次第一支撑环、第二支撑环交替对硅片进行支撑，实现对硅片被支撑的位置进行调节，减少了退火死角，使硅片退火更均匀。

本发明授权一种用于二氧化硅厚膜退火装置在权利要求书中公布了：1.一种用于二氧化硅厚膜退火装置，其特征在于，包括： 炉体1； 两保温门2，其呈对称的滑动连接在炉体1内，并将炉体1内的空间分隔为退火腔11和缓冲腔12，炉体1上开设有投料口13，投料口13位置处铰接有封堵门14； 转动机构3，其包括转动连接在退火腔11内的转轴31，转轴31上共轴固定连接有转盘32，转盘32上呈圆周阵列地开设有多个放置槽33； 多个支撑机构4，各支撑机构4分别一一对应地设置在各放置槽33，每个支撑机构4均包括转动连接在放置槽33内的第一支撑环41，第一支撑环41的内周面上开设有波浪槽412，放置槽33内固定连接有固定座43，固定座43上竖向滑动连接有第二支撑环42，第二支撑环42上固定连接有第一抵接杆422，抵接杆422与波浪槽412滑动抵接配合，第一支撑环41上共轴固定连接有蜗轮44，放置槽33内转动连接有与蜗轮44啮合的蜗杆45，蜗杆45上共轴固定连接有齿轮46，退火腔11内固定连接有第一齿条47和第二齿条48，齿轮46分别与第一齿条47和第二齿条48啮合配合； 第二齿条48与第一齿条47均为弧形，且第二齿条48与第一齿条47的轴线与转轴31的轴线重合； 第二齿条48的弧长是第一齿条47弧长的两倍； 移动平台5，其设置在炉体1内，并沿炉体1的长度方向直线滑动，移动平台5沿第一方向滑动的行程，驱使两保温门2呈相互背离的滑动打开；移动平台5沿第二方向滑动的行程，驱使两保温门2呈相互靠近的滑动关闭。

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