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恭喜中国计量科学研究院李琪获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国计量科学研究院申请的专利一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113375573B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110795986.6,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法是由李琪;李适;李伟;黄鹭;施玉书;黎雄威;高思田设计研发完成,并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法,其中校准装置包括平移装置、第一俯仰调节装置、第二俯仰调节装置和中间调节装置。平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头,远心镜头可拆卸式安装于CCD相机上,CCD相机在平移平台上平移;第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪;第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器;中间调节装置包括位置调节平台和安装于位置调节平台上的五棱镜。相比于现有技术,本发明能够实现自准直仪光轴与CCD相机运动轴成90°,稳频激光器光轴与CCD相机运动轴成180°,从而完成椭偏测量初始90°入射角的校准。

本发明授权一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种椭偏测量初始入射角校准方法,使用椭偏测量初始入射角校准装置,所述椭偏测量初始入射角校准装置包括: 平移装置,所述平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头,所述远心镜头可拆卸式安装于所述CCD相机上,所述CCD相机在所述平移平台上平移; 第一俯仰调节装置,所述第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于所述第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪; 第二俯仰调节装置,所述第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于所述第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器; 中间调节装置,所述中间调节装置包括位置调节平台和安装于所述位置调节平台上的五棱镜,所述五棱镜能够平行于以及垂直于所述CCD相机的平移方向平移; 所述CCD相机的平移方向同时平行于所述自准直仪轴线的俯仰旋转平面和所述稳频激光器轴线的俯仰旋转平面; 所述椭偏测量初始入射角校准方法包括如下步骤: S1、在未安装远心镜头的状态下,使平移平台驱动CCD相机在一维方向重复运动; S2、调整第一俯仰偏摆调节平台的俯仰角度,使CCD相机重复运动时反射光的位置不变; S3、CCD相机装上远心镜头,移开五棱镜,稳频激光器出射一束激光,经远心镜头在CCD相机的感光面上成像激光光斑,使平移平台驱动CCD相机在一维方向上重复运动; S4、通过调整第二俯仰偏摆调节平台的俯仰角度,使稳频激光器出射激光在CCD相机感光面成像位置不发生变化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北三环东路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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