广东聚华印刷显示技术有限公司高卓获国家专利权
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龙图腾网获悉广东聚华印刷显示技术有限公司申请的专利吸附滚筒、柔性器件的剥离贴附装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114038778B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011548158.4,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权吸附滚筒、柔性器件的剥离贴附装置及方法是由高卓设计研发完成,并于2020-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸附滚筒、柔性器件的剥离贴附装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种吸附滚筒、柔性器件的机械剥离贴附装置及方法。该吸附滚筒应用于柔性器件的剥离贴附,其包括柱状的滚筒主体,所述滚筒主体的侧表面设有多个间隔分布的长条形吸附区域,各所述吸附区域的宽度≤1cm,所述滚筒主体内对应各所述吸附区域设有各自独立导气的导气通道,所述滚筒主体还设有与所述吸附区域相对应的多组通气孔,各所述通气孔的一端开口于对应的所述吸附区域上,另一端与对应的所述导气通道相连通。该吸附滚筒借助于通气孔的抽气操作与滚筒本身的转动操作,可以方便地、无损地实现机械剥离与贴附柔性器件,能够避免传统激光剥离时所遇到的问题,具有良好的应用前景。
本发明授权吸附滚筒、柔性器件的剥离贴附装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种柔性器件的剥离方法,其特征在于,包括如下步骤: 在载体基板的表面制备离型层,所述离型层包括多层层叠设置的子离型层;在后续机械剥离的过程中,分离会优先发生于所述子离型层与所述子离型层之间; 去除制备所述柔性器件所需的区域以外的部分所述离型层; 在所述离型层远离所述载体基板的一侧表面上制备柔性器件; 将吸附滚筒贴附于柔性器件表面,所述吸附滚筒包括柱状的滚筒主体,所述滚筒主体的侧表面设有多个间隔分布的长条形吸附区域,各所述吸附区域的宽度≤1cm,所述滚筒主体内对应各所述吸附区域设有各自独立导气的导气通道,所述滚筒主体还设有与所述吸附区域相对应的多组通气孔,各所述通气孔的一端开口于对应的所述吸附区域上,另一端与对应的所述导气通道相连通; 通过所述吸附滚筒中的导气通道抽真空使所述通气孔吸附所述柔性器件,并转动所述吸附滚筒使所述吸附滚筒滚动,将所述柔性器件沿离型层自所述载体基板表面剥离。
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