卡尔蔡司SMT有限责任公司C.鲍尔获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利用于检查和/或处理样品的设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112534540B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980051063.0，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权用于检查和/或处理样品的设备和方法是由C.鲍尔;M.布达赫设计研发完成，并于2019-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于检查和/或处理样品的设备和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于检查和或处理样品400、2010的设备2400、2600，所述设备包括：a用于提供带电粒子束840的扫描粒子显微镜2410，该带电粒子束可以被指引在样品400，2010的表面上；b具有可偏转探针200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600的扫描探针显微镜2470；c其中，检测结构230、530、1030、1130、1330、1530、1630、1690、2630附接到可偏转探针200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600。
本发明授权用于检查和/或处理样品的设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于检查和或处理样品的设备，所述设备包括： a.用于提供带电粒子束的扫描粒子显微镜，所述带电粒子束能够被指引在所述样品的表面上；和 b.具有可偏转探针的扫描探针显微镜； c.其中，检测结构附接到所述可偏转探针， d.其中，所述设备适配于通过将所述带电粒子束定位于所述检测结构上并检测来自所述检测结构的带电二次电子和背向散射电子中的至少一者的发射来确定所述可偏转探针的偏转。
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