英飞凌科技股份有限公司A·沃瑟获国家专利权
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龙图腾网获悉英飞凌科技股份有限公司申请的专利MEMS器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112340692B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010787920.8,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权MEMS器件是由A·沃瑟;S·巴曾;W·克莱因;J·斯特拉塞设计研发完成,并于2020-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS器件在说明书摘要公布了:本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。一种微机电系统MEMS器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征,其中多个特征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。
本发明授权MEMS器件在权利要求书中公布了:1.一种微机电系统MEMS器件,包括: 柔性膜,被布置在基底之上; 第一背板,被布置在所述柔性膜之上,所述第一背板包括面向所述柔性膜的第一多个凸出部;和 多个特征,被布置在所述柔性膜处,所述多个特征中的每个特征与所述第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联, 其中所述多个特征被布置在所述柔性膜内。
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