英飞凌科技股份有限公司J·曼兹获国家专利权
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龙图腾网获悉英飞凌科技股份有限公司申请的专利光声气体传感器和压力传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112113910B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010561831.1,技术领域涉及:G01N21/17;该发明授权光声气体传感器和压力传感器是由J·曼兹;C·格拉策;D·图姆波德设计研发完成,并于2020-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本光声气体传感器和压力传感器在说明书摘要公布了:一种MEMS光声气体传感器和压力传感器,该光声气体传感器包括第一膜和与第一膜相对且通过感测体积与第一膜隔开的第二膜。MEMS光声气体传感器包括电磁源,并且与感测体积通信以偏转第一膜和第二膜。
本发明授权光声气体传感器和压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种MEMS光声气体传感器,包括: 第一膜(141); 第二膜(142),与所述第一膜(141)相对并且通过感测体积(16)与所述第一膜(141)隔开;以及 电磁源(22),与所述感测体积(16)通信, 其中所述电磁源被配置为生成和或向所述感测体积发射能量,从而激励所述感测体积中的气体和或粒子,在所述感测体积内生成压力,使得所述第一膜和所述第二膜朝相反方向移动,并且其中所述移动导致所述光声气体传感器的测量信号。
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