买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉天虹科技股份有限公司申请的专利具有环形抽气单元的沉积机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116334586B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111598379.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权具有环形抽气单元的沉积机台是由林俊成设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有环形抽气单元的沉积机台在说明书摘要公布了：本发明为一种具有环形抽气单元的沉积机台，包括一腔体、一承载盘、一环形抽气单元及一进气单元，其中腔体包括一容置空间及一沟槽，沟槽环绕在容置空间的外围。环形抽气单元包括一环形主体、一环形盖板及一环形遮挡件，其中环形主体包括一环形凹槽、至少一连接孔及复数个排气孔。环形盖板覆盖环形凹槽，使得环形凹槽形成一环形通道，其中沟槽经由连接孔、环形通道及排气孔连接容置空间。环形遮挡件位于环形通道内，并可相对于环形主体位移，以调整连接孔的面积及由排气孔抽出的气体流量，并在承载盘上形成稳定的流场。

本发明授权具有环形抽气单元的沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种具有环形抽气单元的沉积机台，其特征在于，包括： 一腔体，包括一容置空间及一沟槽，其中该沟槽位于该容置空间的外围； 一环形抽气单元，包括： 一环形主体，包括一环形凹槽、至少一连接孔及复数个排气孔，其中该环形主体用以覆盖该腔体的该沟槽； 一环形盖板，覆盖该环形主体的该环形凹槽，使得该环形凹槽形成一环形通道，其中该环形通道包括一第一环形空间及一第二环形空间，该第一环形空间位于该第二环形空间的径向内侧，且该第一环形空间的一第一高度大于该第二环形空间的一第二高度，该第一环形空间的底部可经由一环形斜面连接该第二环形空间的底部，该第二环形空间经由该连接孔连接该沟槽，并该第一环形空间经由该排气孔连接该腔体的该容置空间； 一环形遮挡件，位于该环形通道内，该环形遮挡件包括一从动啮合单元，其中该从动啮合单元连接一驱动杆的一主动啮合单元，该驱动杆转动时会带动该环形遮挡件相对于该环形主体转动，以调整该环形主体的该连接孔被该环形遮挡件所遮挡的面积； 一承载盘，位于该容置空间内，并包括一承载面用以承载至少一晶圆，其中该环形主体的该排气孔位于该承载盘的该承载面周围；及 一进气单元，包括复数个进气孔，其中该进气孔朝向该承载盘的该承载面，并流体连接该腔体的该容置空间； 其中，该环形抽气单元的该环形主体包括一第一环形斜面，相对于该承载盘的一轴心倾斜，并朝向该进气单元，该进气单元包括一第二环形斜面环绕设置在该复数个进气孔的周围，其中该第一环形斜面及该第二环形斜面的倾斜角度相同，并用以对位该进气单元及该环形抽气单元。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天虹科技股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾新竹县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。