中央硝子株式会社谷口敬寿获国家专利权
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龙图腾网获悉中央硝子株式会社申请的专利组合物的供给方法、组合物以及干蚀刻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115461843B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180031263.7，技术领域涉及：H01L21/302；该发明授权组合物的供给方法、组合物以及干蚀刻方法是由谷口敬寿;大森启之;八尾章史设计研发完成，并于2021-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本组合物的供给方法、组合物以及干蚀刻方法在说明书摘要公布了：提供一种以固定组成稳定供给包含单甲胺或二甲胺作为微量杂质的三甲胺的方法。本发明为一种组合物的供给方法，其特征在于，将封入有组合物的保存容器在10℃以上的固定温度下进行保温，然后将上述组合物的气体供给至规定装置，上述组合物的气相中包含：三甲胺；二甲基乙基胺；以及、二甲胺和单甲胺中的至少1种。
本发明授权组合物的供给方法、组合物以及干蚀刻方法在权利要求书中公布了：1.一种组合物的供给方法，其特征在于，将封入有组合物的保存容器在10℃以上的固定温度下进行保温，然后将所述组合物的气体供给至规定装置， 所述组合物的气相中包含： 三甲胺； 二甲基乙基胺；以及 二甲胺和单甲胺中的至少1种， 在所述气相中包含95体积%以上的三甲胺。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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