布鲁克科技公司亚当·金斯伯格获国家专利权
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龙图腾网获悉布鲁克科技公司申请的专利高纵横比结构叠层移位和倾斜的透射X射线临界尺寸表征获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113686907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110428564.5，技术领域涉及：G01N23/20；该发明授权高纵横比结构叠层移位和倾斜的透射X射线临界尺寸表征是由亚当·金斯伯格;马克·詹姆斯·韦尔默朗;保罗·安东尼·瑞恩;马修·沃明顿设计研发完成，并于2021-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本高纵横比结构叠层移位和倾斜的透射X射线临界尺寸表征在说明书摘要公布了：本申请涉及高纵横比结构叠层移位和倾斜的透射X射线临界尺寸表征。一种用于X射线测量的方法包括生成X射线射束并将X射线射束引导到至少包括堆叠在彼此上的第一和第二层的样品，该X射线射束入射在样品位置上，第一和第二层在该样品位置处包括相应的第一和第二高纵横比HAR结构。响应于X射线射束根据在样品和X射线射束之间的倾斜角来测量从样品位置发射的X射线散射剖面。基于根据倾斜角测量的X射线散射剖面来估计在第一和第二层之间的移位以及第一和第二层的特征倾斜。
本发明授权高纵横比结构叠层移位和倾斜的透射X射线临界尺寸表征在权利要求书中公布了：1.一种用于X射线测量的方法，所述方法包括： 生成X射线射束并将所述X射线射束引导到至少包括堆叠在彼此上的第一层和第二层的样品，所述X射线射束入射在样品位置上，所述第一层和第二层在所述样品位置处包括相应的第一高纵横比HAR结构和第二高纵横比HAR结构； 响应于所述X射线射束根据在所述样品和所述X射线射束之间的倾斜角来测量从所述样品位置发射的X射线散射剖面；以及 基于根据所述倾斜角测量的所述X射线散射剖面来估计在所述第一层和第二层之间的移位以及所述第一层和第二层的特征倾斜； 其中，估计所述移位和所述特征倾斜包括： 根据相对移位和所述特征倾斜来定义X射线散射剖面的模型；以及 计算在被测X射线散射剖面与所述模型之间的拟合，并从所述拟合提取所估计的移位和所述特征倾斜。
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