富士胶片株式会社畠山直也获国家专利权
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龙图腾网获悉富士胶片株式会社申请的专利感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115151864B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180016486.6,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法是由畠山直也;福崎英治;吉野文博设计研发完成,并于2021-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、通过上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法,所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有A树脂及B通过光化射线或放射线的照射产生酸的由特定的通式1表示的化合物。
本发明授权感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其含有: (A)树脂;及 (B)通过光化射线或放射线的照射而产生酸的由下述通式(1)表示的化合物, 通式(1)中, W1表示环, Q表示构成环W1的1个以上的环成员为杂原子、羰基碳原子或它们的组合的2价的连接基, R1A及R1B分别独立地表示氢原子、有机基团或卤原子,其中,R1A及R1B中的至少1个表示有机基团或卤原子, R2A及R2B分别独立地表示氢原子、有机基团或卤原子,其中,R2A及R2B中的至少1个表示有机基团或卤原子, p表示0或1,q表示0或1, 其中,p+q表示1或2, R1及R2分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基、卤原子、氰基或芳基,其中,R1及R2中的至少1个表示烷基、环烷基、卤原子、氰基或芳基, n表示1, R3及R4分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基、卤原子、氰基或芳基, m表示1以上的整数, L表示羰基键或酯键, l表示1, R5~R9中的至少2个任选地彼此连接而形成环, R5、R6、R7、R8及R9分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基、芳基、烷氧基、环烷氧基、烷氧基羰基、环烷氧基羰基、烷基羰氧基、环烷基羰氧基、烯基、卤原子、羟基、硝基、烷硫基或环烷硫基, Z-表示阴离子。
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