佳能安内华股份有限公司三浦顺获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能安内华股份有限公司申请的专利负载锁定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114175225B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080051124.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权负载锁定装置是由三浦顺;福田直哉;高城信二;下川英利设计研发完成，并于2020-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本负载锁定装置在说明书摘要公布了：负载锁定装置具备负载锁定室和在所述负载锁定室中保持基板的基板保持构造。所述基板保持构造具有与所述基板相向的相向面，并构成为能够使气体在所述基板与所述相向面之间的空间流动。在由所述基板保持构造保持所述基板的状态下，位于比所述相向面的外缘靠内侧的位置的部分与所述基板的距离大于所述相向面的所述外缘与所述基板的距离。
本发明授权负载锁定装置在权利要求书中公布了：1.一种负载锁定装置，所述负载锁定装置具备负载锁定室和在所述负载锁定室中保持基板的基板保持构造，其特征在于， 所述基板保持构造包括以支承所述基板的方式与所述基板接触的接触部和具有以不与所述基板接触的方式与所述基板相向的相向面的第一构件，所述基板保持构造构成为能够使气体在所述基板与所述相向面之间的空间流动， 在利用所述基板保持构造保持所述基板的状态下，位于比所述相向面的外缘靠内侧的位置的部分与所述基板的距离大于所述相向面的所述外缘与所述基板的距离， 所述相向面的所述外缘由所述第一构件的外侧的露出的侧面规定。
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