买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利一种垂向运动集成装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120184084B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510655086.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种垂向运动集成装置及半导体设备是由黄俊芃;陈艳威设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种垂向运动集成装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种垂向运动集成装置及半导体设备，该垂向运动集成装置包括：宏动抬升机构，包括底板、第一楔形件、第二楔形件、第一驱动件，第一驱动件用于驱动第一楔形件移动以使第二楔形件做垂向宏动运动；微动机构，包括第二驱动件、弹性件、载台，第二驱动件用于驱动载台做垂向微动运动；顶升机构，包括第三驱动件、顶升件，第三驱动件用于驱动若干个顶升件做垂向运动，以顶升载台承载的待测物。本发明集成了宏微动调节和顶升运动，能够实现晶圆载台毫米级的宏动、纳米级的微动调平、以及晶圆的顶升运动，三个运动独立控制，互不干扰，且整体结构扁平紧凑，具有较小的垂向高度，方便真空腔体内的布置，刚度高，到位稳定，能够抗电磁干扰。

本发明授权一种垂向运动集成装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种垂向运动集成装置，其特征在于，包括： 宏动抬升机构（1），包括底板（11）、连接于所述底板（11）上的第一楔形件（12）、连接于所述第一楔形件（12）上的第二楔形件（13）、以及与所述第一楔形件（12）驱动连接的第一驱动件（14），所述第一驱动件（14）用于驱动第一楔形件（12）移动以使所述第二楔形件（13）做垂向宏动运动； 微动机构（2），包括与所述第二楔形件（13）固定连接的第二驱动件（23）、与所述第二驱动件（23）驱动连接的弹性件（24）、以及与所述弹性件（24）连接且用于承载待测物的载台（26），所述第二驱动件（23）用于驱动载台（26）做垂向微动运动； 顶升机构（3），置于所述第一楔形件（12）、所述第二楔形件（13）内设置的容纳空间（19）中，包括第三驱动件（32）、以及与所述第三驱动件（32）驱动连接且穿设于所述载台（26）中的若干个顶升件（36），所述第三驱动件（32）用于驱动若干个所述顶升件（36）做垂向运动，以顶升所述载台（26）承载的待测物； 所述微动机构（2）还包括固定安装于所述第二楔形件（13）侧面的第一安装块（21）、固定安装于所述第一安装块（21）上的第一底座（22）、以及安装于所述第一底座（22）与弹性件（24）之间的第二驱动件（23），所述弹性件（24）固定安装于所述第一底座（22）上，所述第二驱动件（23）的输出端与弹性件（24）连接，所述弹性件（24）与所述第二楔形件（13）之间设置有拉簧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡亘芯悦科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区景贤路6号中国物联网国际创新园H3-201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。