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龙图腾网获悉江西力信达高新装备有限公司申请的专利一种应用于流化床式硅烷沉积炉的气体外循环系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120158725B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510623487.7，技术领域涉及：C23C16/442；该发明授权一种应用于流化床式硅烷沉积炉的气体外循环系统是由肖嵩涛;刘史丁;钟兰祥;肖小华;黄健;胡宏涛;刘福林设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于流化床式硅烷沉积炉的气体外循环系统在说明书摘要公布了：本发明涉及新硅碳沉积设备领域，尤其涉及一种应用于流化床式硅烷沉积炉的气体外循环系统，包括有支架、柱式流化床、三通管、承载架、冷却器、加压器、加热器、通气管、排气管和注气管；支架安装有柱式流化床；柱式流化床连通有三通管；支架设置有承载架；承载架从上至下依次安装有冷却器、加压器和加热器；冷却器、加压器和加热器共同连通有一个通气管；通气管和柱式流化床共同连通有一个排气管；通气管和三通管共同连通有一个注气管。本发明通过可灵活调整的吸尘布来对工艺气体进行过滤，解决了现有技术中，需要待硅烷沉积炉设备冷却降温之后，才可进行过滤除尘设备的清理，无法实现过滤除尘设备的不停机清洁或更换的问题。

本发明授权一种应用于流化床式硅烷沉积炉的气体外循环系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于流化床式硅烷沉积炉的气体外循环系统，包括有支架（1）、柱式流化床（2）、三通管（3）、承载架（4）、冷却器（5）、加压器（6）、加热器（7）、通气管（8）、排气管（14）和注气管（15）；支架（1）安装有柱式流化床（2）；柱式流化床（2）连通有三通管（3）；支架（1）设置有承载架（4）；承载架（4）从上至下依次安装有冷却器（5）、加压器（6）和加热器（7）；冷却器（5）、加压器（6）和加热器（7）共同连通有一个通气管（8）；通气管（8）和柱式流化床（2）共同连通有一个排气管（14）；通气管（8）和三通管（3）共同连通有一个注气管（15）；其特征是：还包括有圆柱（9）、安装架（10）、转辊（11）、驱动电机（111）、转杆（12）、吸尘布（13）、清洁器（18）、环形架（19）和压辊（191）；通气管（8）分为上、中、下三段，且每相邻的两段之间共同固接有一个安装架（10）；通气管（8）的中段设置为“C”字型结构；通气管（8）的中段内设置有圆柱（9），圆柱（9）与通气管（8）的中段存在间隙；所有安装架（10）共同转动连接有若干个呈对称分布的转辊（11）；通气管（8）的上段安装有若干个驱动电机（111），且驱动电机（111）与转辊（11）一一对应，且每个驱动电机（111）的输出轴分别与对应侧的转辊（11）固接；所有安装架（10）共同转动连接有若干个呈环形分布的转杆（12）；所有的转辊（11）和转杆（12）共同传动连接有一个双层的“C”型吸尘布（13），且双层的“C”型吸尘布（13）罩住通气管（8）的中段；每个安装架（10）各固接有一个环形架（19）；每个环形架（19）各转动连接有若干个呈环形分布的压辊（191），且压辊（191）与吸尘布（13）贴合；通气管（8）的上段和通气管（8）的下段共同安装有一个清洁器（18），且清洁器（18）罩住吸尘布（13）。

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