张家港华泰超声科技有限公司陆宇飞获国家专利权
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龙图腾网获悉张家港华泰超声科技有限公司申请的专利一种硅晶片缺陷高效检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223122907U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422163836.5，技术领域涉及：G01N23/2204；该实用新型一种硅晶片缺陷高效检测装置是由陆宇飞;王磊;陆涛设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅晶片缺陷高效检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅晶片缺陷高效检测装置，其技术方案要点是包括：检测箱，所述箱门的一侧固定安装有控制电脑，所述检测箱的顶面固定安装有电子显微镜，所述检测箱的顶面开设有连接孔，所述电子显微镜的检测头通过连接孔延伸至所述检测箱的内部；翻转组件，所述翻转组件设置在所述检测箱的内部，用于对检测硅晶片进行翻转，通过设置翻转组件，硅晶片的两个面都可以得到充分的检测，避免了传统检测方式中可能存在的漏检问题，使得单次检测范围更广、更全面，提高检测效果，缩短了检测周期、提高了检测效率，进一步提高了检测效果的全面性、及时性和可靠性，通过设置放置板，能够将待检测硅晶片放置于放置板内部的放置槽中。
本实用新型一种硅晶片缺陷高效检测装置在权利要求书中公布了：1.一种硅晶片缺陷高效检测装置，其特征在于，包括： 检测箱1，所述检测箱1的内部设置有箱门2，所述箱门2的一侧固定安装有控制电脑3，所述检测箱1的顶面固定安装有电子显微镜4，所述检测箱1的顶面开设有连接孔5，所述电子显微镜4的检测头通过连接孔5延伸至所述检测箱1的内部； 翻转组件，所述翻转组件设置在所述检测箱1的内部，用于对检测硅晶片进行翻转。
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