深圳市章阁仪器有限公司李光环获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市章阁仪器有限公司申请的专利真空测量组件及半导体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223122403U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422162332.1，技术领域涉及：G01L21/00；该实用新型真空测量组件及半导体处理设备是由李光环设计研发完成，并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空测量组件及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本公开提供一种真空测量组件及半导体处理设备，至少包括：真空规；第一真空泵；以及三通管，三通管的第一管路用于与真空腔室连接，三通管的第二管路与第一真空泵连接，三通管的第三管路与真空规可拆卸连接；第一管路上设有第一阀门，第一阀门能够在真空规与第三管路进行拆装过程中处于关闭状态，第一真空泵能够在真空规与第三管路装配之后，且第一阀门处于关闭状态时对三通管的内部进行抽真空处理，第一阀门能够在第一真空泵对三通管内部进行抽真空处理后处于打开状态，真空规能够在第一阀门处于打开状态后对真空腔室内的真空度或气压进行测量。该方案在更换真空规时，在不影响产品品质的同时，节省出更换工艺套件的时间、经济成本，提高产能。
本实用新型真空测量组件及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种真空测量组件，其特征在于，包括： 真空规； 第一真空泵；以及 三通管，所述三通管的第一管路用于与真空腔室连接，所述三通管的第二管路与所述第一真空泵连接，所述三通管的第三管路与所述真空规可拆卸连接； 其中，所述第一管路上设有第一阀门，所述第一阀门能够在所述真空规与所述第三管路进行拆装过程中处于关闭状态，所述第一真空泵能够在所述真空规与所述第三管路装配之后，且所述第一阀门处于关闭状态时对所述三通管的内部进行抽真空处理，所述第一阀门能够在所述第一真空泵对所述三通管内部进行抽真空处理后处于打开状态，所述真空规能够在所述第一阀门处于打开状态后对所述真空腔室内的真空度或气压进行测量。
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