重庆康佳光电技术研究院有限公司黄文洋获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆康佳光电技术研究院有限公司申请的专利LED外延结构、LED芯片及外延结构的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111540816B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010190471.9,技术领域涉及:H10H20/82;该发明授权LED外延结构、LED芯片及外延结构的制备方法是由黄文洋;林雅雯;黄国栋;黄嘉宏;杨顺贵设计研发完成,并于2020-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本LED外延结构、LED芯片及外延结构的制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种衬底可剥离式LED外延结构、LED芯片及衬底可剥离式LED外延结构的制备方法,衬底可剥离式LED外延结构包括GaAs衬底、GaAs缓冲层、AlAs牺牲层和半导体层,GaAs缓冲层设置于GaAs衬底上,AlAs牺牲层设置于GaAs缓冲层上;AlAs牺牲层上设置有多个凹陷部,半导体层设置于AlAs牺牲层上。与现有技术相比,本技术方案的有益效果是:本发明通过在AlAs牺牲层上设置有凹陷部,多个凹陷部在外延结构的横截面上形成波浪线状的切面边缘,使得半导体层的下表面之间通过凹凸不平的接触面贴合在一起,借助凹凸不平的接触面来提高腐蚀效果和降低AlAs牺牲层和半导体层之间的应力,进而实现GaAs衬底的轻松剥离,从而降低生产成本。
本发明授权LED外延结构、LED芯片及外延结构的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种衬底可剥离式LED外延结构,其特征在于,包括: GaAs衬底; GaAs缓冲层,所述GaAs缓冲层设置于所述GaAs衬底上; AlAs牺牲层,所述AlAs牺牲层设置于所述GaAs缓冲层上,所述AlAs牺牲层上设置有多个周期性排列的锥形凹陷部,相邻两个所述锥形凹陷部的底面相切,所述锥形凹陷部的锥形底面直径为5-40nm,所述锥形凹陷部的高为5-40nm; 半导体层,所述半导体层设置于所述AlAs牺牲层上。
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