朗姆研究公司迈克尔·菲利普·罗伯茨获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于ALD膜特性校正和可调性的多区基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111357094B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880074453.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于ALD膜特性校正和可调性的多区基座是由迈克尔·菲利普·罗伯茨;拉梅什·钱德拉塞卡拉;普尔凯特·阿加瓦尔;亚伦·宾汉;阿施施·索拉卜;拉维·库马尔;詹尼弗·利·佩特拉利亚设计研发完成，并于2018-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于ALD膜特性校正和可调性的多区基座在说明书摘要公布了：一种被配置成在衬底上进行沉积处理包括衬底支撑件，衬底支撑件包括多个区域以及布置在整个所述多个区域的多个电阻加热器。所述多个电阻加热器包括布置在所述多个区域中的相应区域中的多个独立可控的电阻加热器。控制器被配置成在所述沉积处理期间控制所述多个电阻加热器，以选择性地调整所述多个区域内的温度。
本发明授权用于ALD膜特性校正和可调性的多区基座在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其配置成在衬底上进行沉积处理，所述衬底处理系统包括： 衬底支撑件，其包括： 基板， 多个区域，以及 多个电阻加热器，其布置在整个所述多个区域，其中所述多个电阻加热器包括布置在所述多个区域中的相应区域中的多个独立可控的电阻加热器； 其中所述多个区域包括外部加热器区域，其设置在所述基板的在所述衬底的边缘外的台阶部分上；以及 控制器，其配置成在所述沉积处理期间控制所述多个电阻加热器，以选择性地调整所述多个区域内的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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