格科微电子(上海)有限公司赵立新获国家专利权
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龙图腾网获悉格科微电子(上海)有限公司申请的专利光学指纹器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113380836B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-22发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010155428.9,技术领域涉及:H10F39/12;该发明授权光学指纹器件的制造方法是由赵立新;夏欢设计研发完成,并于2020-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学指纹器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种光学指纹器件的制造方法,通过采用机械切割或激光切割的方式去除覆盖层对应于图像传感器的焊盘区的部分,以暴露出焊盘区,实现了覆盖层避开图像传感器的焊盘区的目的,以免影响焊盘区的电学连接性能,由于采用机械切割或激光切割方式去除覆盖层,相比现有技术的刻蚀工艺,节省了工艺时间,提高了生产效率,增加了产能,降低了制造成本。
本发明授权光学指纹器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种光学指纹器件的制造方法,其特征在于,包括如下步骤: 提供形成有若干图像传感器的晶圆; 在所述晶圆上形成一覆盖层,该覆盖层与图像传感器的焊盘区之间具有间隙; 在所述晶圆上形成若干微透镜; 采用机械切割或激光切割的方式去除所述覆盖层对应于图像传感器的焊盘区的部分,以暴露出焊盘区; 从而形成所述光学指纹器件; 在所述晶圆上形成一覆盖层,该覆盖层与图像传感器的焊盘区之间具有间隙的步骤包括: 在所述晶圆上形成多层透光层,采用光刻的方式去除最接近晶圆的一层透光层对应于图像传感器的焊盘区的部分,其他透光层作为所述与图像传感器的焊盘区之间具有间隙的覆盖层;或者,提供挡光层,刻蚀所述挡光层对应于图像传感器的焊盘区的部分以形成凹槽,所述挡光层与所述晶圆结合,作为所述与图像传感器的焊盘区之间具有间隙的覆盖层; 在所述覆盖层与晶圆之间形成红外截止滤光膜,采用剥离工艺或者治具阻挡的方式使得所述红外截止滤光膜避开对应于图像传感器的焊盘区的部分。
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