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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种药液槽组件及湿法刻蚀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223155992U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521242943.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种药液槽组件及湿法刻蚀机台是由徐巍;李艺杰设计研发完成，并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种药液槽组件及湿法刻蚀机台在说明书摘要公布了：本申请公开了一种药液槽组件及湿法刻蚀机台，涉及半导体清洗刻蚀技术领域，其中药液槽组包括药液槽本体、循环过滤组件以及缓存组件；药液槽本体设有药液腔；循环过滤组件包括过滤器、循环泵、循环开关阀、第一循环管以及第二循环管；第一循环管连接于药液腔与循环泵的进液端；第二循环管连接于循环泵的出液端与药液腔；过滤器配置于第一循环管或第二循环管；循环开关阀配置于第一循环管；缓存组件的缓存槽设有密封的缓存腔；缓存组件的第一缓存管以及第二缓存管的一端连接至第一循环管；第一缓存管与第二缓存管的另一端连通缓存腔。设计的药液槽组件能够实现药液不使用时暂存于密封的缓存腔内，防止挥发，保证药液化学稳定性和清洗刻蚀效果。

本实用新型一种药液槽组件及湿法刻蚀机台在权利要求书中公布了：1.一种药液槽组件，其特征在于，包括药液槽本体（1）、循环过滤组件以及缓存组件； 所述药液槽本体（1）设有药液腔（10）； 所述循环过滤组件包括过滤器（25）、循环泵（24）、循环开关阀（23）、第一循环管（21）以及第二循环管（22）； 所述第一循环管（21）的一端与所述药液腔（10）连接导通，另一端与所述循环泵（24）的进液端导通； 所述第二循环管（22）的一端与所述循环泵（24）的出液端连接导通，另一端与所述药液腔（10）导通； 所述过滤器（25）配置于所述第一循环管（21）或所述第二循环管（22）； 所述循环开关阀（23）配置于所述第一循环管（21）； 所述缓存组件包括缓存槽（33）、第一缓存管（31）、第二缓存管（32）、第一缓存开关阀（34）以及第二缓存开关阀（35）； 所述缓存槽（33）设有密封的缓存腔（30）； 所述第一缓存管（31）的一端连接至所述第一循环管（21），且位于所述循环开关阀（23）与所述药液槽本体（1）之间； 所述第一缓存管（31）的另一端连通所述缓存腔（30）； 所述第二缓存管（32）的一端连接至所述第一循环管（21），且位于所述循环开关阀（23）与所述循环泵（24）之间； 所述第二缓存管（32）的另一端连通所述缓存腔（30）； 所述第一缓存开关阀（34）配置于所述第一缓存管（31）； 所述第二缓存开关阀（35）配置于所述第二缓存管（32）。

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