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恭喜广东省大湾区集成电路与系统应用研究院苏炳熏老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2024年11月29日 来源:龙图腾

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龙图腾网恭喜广东省大湾区集成电路与系统应用研究院申请的专利鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻分解结构及测试结构成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-10-19发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2021107988924,技术领域属于H01L29/78(20060101);该专利鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻分解结构及测试结构是由广东省大湾区集成电路与系统应用研究院设计研发完成,并于2021-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明公开了一种鳍式场效应晶体管源漏寄生电阻分解结构及测试结构,其可实现源漏寄生电阻分开提取,便于进行测试操作,鳍式场效应晶体管包括鳍、分布于鳍的栅极区、源漏极区、接触层、分布于源漏极区两侧的延伸层,相邻两个栅极区之间设置有一个接触层,源漏寄生电阻包括串联的源漏接触电阻、外延生长电阻、延伸电阻、栅极驱动信道电阻,用于对源漏寄生电阻进行测试的测试结构,选取若干个接触层之间的区域作为总测试区,总测试区一端的接触层与驱动电流源连接,另一端的接触层接地,总测试区包括至少三个不同测试区间,不同测试区间通过接触层分隔,且每个测试区间两侧的接触层为电压测试点,不同测试区间的鳍长度沿鳍方向依次递增。

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法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。

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