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申请/专利权人：FEI公司
申请日：2007-05-28
公开（公告）日：2012-11-28
公开（公告）号：CN101082593B
专利技术分类：
专利摘要：本发明涉及一种例如用于TEM中的样品托架20样品支座30的集成结构。样品托架与样品支座是分开的。虽然这样的结构是已知的，但是已知结构是非常脆弱的结构。本发明的样品托架可以由金属带制造，并且是简单便宜的元件。利用弹性力，它夹持到样品支座之上或之内。样品托架连接到样品支座上的部分同样具有简单的外形。样品托架可通过连接工具连接到真空中的样品支座上。
专利权项：一种样品托架20和样品支座30的联合集成结构，其设置为样品1可固定其上，其中样品托架20和样品支座30设置为在真空中使用，包括：‑第一部分，其为带有末端的样品支座30，样品支座30设置为可拆卸的固定到样品托架20上，和‑第二部分，其为样品托架20，样品托架20设置为使得样品1可固定到那里或者固定其上，样品托架20同样设置为可拆卸的固定到样品支座30上；‑由此借助于弹性元件的夹持来实现可拆卸的固定功能，其特征在于：‑弹性元件形成样品托架20的一部分，样品托架20设置成直接与样品1接触，样品托架20形成为一体件。
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