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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日：2018-09-26
公开（公告）日：2019-04-02
公开（公告）号：CN109557654A
专利技术分类：.浸润油[2006.01]
专利摘要：本发明涉及浸没基体5，其被构造用于调整光学装置的分界面处的光学性能，所述浸没基体在浸没基体5的材料6中具有多孔结构，所述多孔结构具有孔7和或纳米孔8，所述孔7具有选自大于20nm至200μm的范围的至少一个孔径，其中，纳米孔8具有选自0.5nm至20nm范围的至少一个平均孔径，所述多孔结构具有选自0.1‑100MPa范围内的弹性模量E。本发明还涉及浸没基体5的应用、具有浸没基体5的装置以及浸没设备。
专利权项：1.一种浸没基体5，其构造用于调整光学装置的分界面处的光学性能，所述浸没基体在浸没基体5的材料6中具有多孔结构，所述多孔结构具有孔7和或纳米孔8，所述孔7具有选自大于20nm至200μm范围的至少一个平均孔径，其中，纳米孔8具有选自0.5nm至20nm范围的至少一个平均孔径。
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 浸没基体、浸没基体的应用和浸没设备
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