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一种真空紫外光探测器的开关响应标定系统及测试方法 

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申请/专利权人:中山大学

摘要:本发明公开了一种真空紫外光探测器的开关响应标定系统,包含193nmArF激光器,真空腔体和示波器或数字源表;所述真空腔体中设有探针台,探针台上设有若干个探针,所述真空腔体上设有可透过193nm光的蓝宝石窗口,ArF激光器通过蓝宝石窗口将脉冲提供给探测器;探针台的正负极分别连接数字源表,用于检测探测器的电流变化,或连接示波器,用于检测探测器的电压变化。本发明真空紫外光探测器的开关响应标定系统,能够准确测量真空紫外光探测器的响应时间,对各种类型点的光电探测器的开关响应标定具有普遍适用性,并且可以实现不同温度下的标定,操作简单方便,具有较大的应用前景。

主权项:1.一种真空紫外光探测器的开关响应标定系统,其特征在于,包含193nmArF激光器,真空腔体,示波器或数字源表;所述真空腔体中设有探针台,探针台上设有若干个探针,所述真空腔体上设有可透过193nm光的蓝宝石窗口,ArF激光器通过蓝宝石窗口将脉冲提供给探测器;探针台的正负极分别连接数字源表,用于检测探测器的电流变化,或连接示波器,用于检测探测器的电压变化。

全文数据:

权利要求:

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